De afgelopen jaren heeft Smink Group geavanceerde systemen ontwikkeld voor in-line, real-time meting van onzuiverheden in gassen met behulp van Ion Mobility Spectrometry (IMS). Dit systeem maakt het mogelijk om meerdere verontreinigingen tegelijkertijd in real-time te meten op niveaus van parts per billion (ppb) en parts per trillion (ppt). Deze systemen zijn speciaal ontworpen voor diverse omgevingen en bieden nauwkeurige monitoring met uitzonderlijke gevoeligheid.
Elk systeem wordt op maat gemaakt en geconfigureerd om te voldoen aan de specifieke eisen van zijn omgeving, waardoor betrouwbare en efficiënte oplossingen voor onzuiverheidsdetectie worden geboden.
Cleanroom omgevingen
- Detectiegevoeligheid: Laag ppb-niveau
- Toepassing: Real-time monitoring van onzuiverheden in cleanrooms met verschillende zuiverheidsniveaus, ter waarborging van strikte contaminatiecontrole. Opslag van IMS-spectra voor RGA-analyse van verontreinigingen.
Inerte & Waterstofomgevingen
- Detectiegevoeligheid: Laag ppb- of ppt-niveau, afhankelijk van de omgeving.
- Toepassing: Real-time analyse van onzuiverheden in inerte en waterstofgebaseerde systemen, ter behoud van procesintegriteit onder uitdagende omstandigheden
High-Purity Systemen
- Detectiegevoeligheid: ppt-niveau.
- Toepassing: Meting van spooronzuiverheden in ultra-high-purity systemen met minimale contaminatieniveaus.
Werkingsprincipe
Gas wordt geïoniseerd en gemeten in de basisopstelling zoals hieronder weergegeven.
Hoogwaardige real-time monitoring: Het systeem maakt nauwkeurige, in-line real-time meting van onzuiverheden mogelijk.
Meting van meerdere verontreinigingen: Het systeem kan meerdere verontreinigingen tegelijkertijd in real-time detecteren.
Kosteneffectieve oplossing: Scherpe prijzen maken deze systemen een economisch voordelige keuze in vergelijking met andere analysemethoden met vergelijkbare prestaties.
Contextafhankelijke nauwkeurigheid: De precisie wordt beïnvloed door het type verontreiniging en de specifieke achtergrondomstandigheden.
Proactieve waarschuwingen en gegevensverzameling: Uitgerust met een alarmfunctie waarschuwt het systeem gebruikers wanneer vooraf ingestelde limieten worden overschreden en worden continu gegevens verzameld voor diepgaande analyse.
Meting van verontreinigingen bij atmosferische druk: Geen vacuümsysteem nodig.
High-Purity testing met IMS-technologie
Smink Group biedt een High-Purity Testopstelling voor klantgerichte tests. We nodigen u uit uw uitdagingen met ons te delen voor gezamenlijke tests om te onderzoeken hoe IMS-technologie uw toepassingen kan verbeteren.
We gaan graag in gesprek met uw technische team om mogelijke toepassingen te verkennen, waaronder:
- In-Machine metingen: In-line, real-time monitoring van zuiverheidsniveaus voor verbeterde procescontrole.
- In-Room metingen: Voorkomen van opbrengstverlies door verhoogde contaminatieniveaus tijdig te detecteren en aan te pakken.
- In-Cabinet metingen: Verminderen van procesrisico’s en verhogen van efficiëntie door het monitoren van load locks en wafertransfersystemen, het minimaliseren van purge- en stabilisatietijden en het optimaliseren van reinigingscycli.